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青島育豪微電子設備有限公司

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產品詳細
全自動擴散爐

全自動擴散爐

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發(fā)布時間:2014-3-7 14:31:55

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產品介紹:
功能特點:
擴散爐應用于半導體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、及大規(guī)模集成電路制造等領域對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝,可用于2-8英寸工藝尺寸。
★全中文windows操作界面,可編輯參數,操作方便。
★可保存多條工藝曲線,每條曲線可設置多步。
★工藝曲線的自動運行控制功能。
★自動運行中可暫停/繼續(xù)運行功能。
★工藝中可強制跳到下一個工藝步運行功能。
★智能升降溫斜率制功能。
★PID參數自整定功能。
★系統(tǒng)故障的檢測與報警功能。
★智能懸臂推拉舟控制功能。
★停電后斷點繼續(xù)運行功能。
★工藝氣體的程序控制功能(電磁閥/質量流量控制器)。
★可根據用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應的功能。

主要技術指標:
★爐管內徑:¢90~¢300(2英寸~8英寸)
★恒溫區(qū)長度及精度:≤1250mm±0.5(300℃~1290℃)
★控溫儀表:進口高精度控溫儀
★氣源路數:主管道1~4路
★氣體種類:N2、H2、O2、HCL等
★氣源控制:MFC或浮子流量計
★推拉舟行程:*大2000mm
★推拉舟速度范圍及精度:(20~1000)±2mm/min
★推拉舟方式:簡易式、懸臂式、SiC硅槳式
★冷卻方式:水冷+風冷
★工控機:工控機控制
設備特性:
具有多條工藝曲線,調用方便快捷;運行中,具有停電記憶功能觸摸微機界面,操作方便;具有超溫保護功能

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