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  • 經(jīng)營模式:生產(chǎn)型
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砷化鎵VGF法單晶爐

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品價格:

發(fā)布時間:2014-4-2 12:47:42

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產(chǎn)品詳情:
  產(chǎn)品應用:主要用于2~6英寸鍺單晶、砷化鎵等化合物晶體的生長

產(chǎn)品特點:
◆工業(yè)計算機控制系統(tǒng)(WINDOWS 系統(tǒng)界面,操作方便簡潔)
◆關鍵部件均采用進口,確保設備的高可靠性
◆控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好
◆具有斷電報警、超溫/欠溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能
◆晶體生長均勻性好、重復性高
主要技術指標
◆工作溫度:600~1280℃
◆適應晶體尺寸:2~6英寸
◆裝料量:10Kg/爐
◆加熱控制:7段控制
◆溫區(qū)長度:800mm±0.5℃(1000~1280℃)
◆*大升溫速率:15℃/min
◆升降行程:900mm
◆*小升降速率(VB):0.1mm/h
配套設備:合成爐、鑄錠爐、脫氧封管爐等

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