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陳慶建 13864877323 13805324954
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地址：中國.山東省.青島市.城陽區(qū)流亭工業(yè)園協(xié)榮路3號
郵編：266108
Email：qdyuhao_chen@126.com
http://www.qdyuhao888.com

主營行業(yè): 燒結設備
經(jīng)營模式：生產(chǎn)型
經(jīng)營性質(zhì)：私營企業(yè)
地區(qū)：山東
友情鏈接：粉末冶金

供求信息

LPCVD化學相沉積設備

產(chǎn)品型號：

產(chǎn)品價格：

發(fā)布時間：2014-3-10 8:53:52

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產(chǎn)品詳情：

用途：用于半導體器件工藝中氮化硅、二氧化硅、多晶硅的薄膜制備
特點：一次設定自動完成，可另配氣柜。真空系統(tǒng)可選配進口機組
主要技術指標：制備3-4吋氮化硅、多晶硅和二氧化硅薄膜；溫度：400~900℃；
恒溫區(qū)600mm±0.5℃；真空系統(tǒng)機械泵+羅茨泵，配有抽氣冷井；
控溫器采用進口5吋觸摸屏；通入氣體SIH4/NH3/N2;
進口質(zhì)量流量計控制；閥門用進口氣動閥和減壓閥；動作順序為PLC編程控制；
薄膜壓力控制器加閥閉環(huán)控制壓強

鄭重聲明：以上信息由企業(yè)自行發(fā)布，該企業(yè)負責信息內(nèi)容的完整性、真實性、準確性和合法性。本網(wǎng)站對此不承擔任何責任。

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